產品詳情
  • 產品名稱:桌麵單靶磁控濺射鍍膜儀(鍍鋁型)​

  • 產品型號:MSP180G-ALDC
  • 產品廠商:红杏成版人下载
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簡單介紹:
桌麵單靶磁控濺射鍍膜儀(鍍鋁型)​是一款實驗室製備材料薄膜的理想設備,該桌麵單靶磁控濺射鍍膜儀(鍍鋁型)​配500W高性能直流電源,十分適合鍍鋁以及對空氣十分敏感的金屬材料。
詳情介紹:

桌麵單靶磁控濺射鍍膜儀(鍍鋁型)經過小型化設計,將設備外形限製在了桌麵級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個高性能直流電源,具有煉靶功能,有效去除鋁靶表麵的氧化層,十分適合鍍鋁等對空氣十分敏感的材料。本設備結構緊湊功能完善便於使用,非常適合用於各類鍍膜試驗。


名稱
桌麵單靶磁控濺射鍍膜儀(鍍鋁型)
特點
  • 速度快溫升低
  • 高性能直流電源,具有煉靶功能,有效去除鋁靶表麵的氧化層,十分適合鍍鋁等對空氣十分敏感的材料
  • 小型化設計,將設備外形限製在了桌麵級別
技術參數
  • 樣品台: 直徑100mm,可加熱 *高溫度500℃,可旋轉 0-20rpm 可調
  • 磁控靶槍: 2 英寸圓形平麵靶, 
  • 真空腔體: Φ180mm × H 215mm;高純石英; 觀察窗口 全向透明; 開啟方式 頂蓋拆卸式
  • 直流電源: 輸出功率 *大500W ,數量 1
  • 真空係統 
  1.  機械泵 旋片泵 抽速 1.1L/S,抽氣接口 KF16 排氣接口 KF16
  2.  分子泵 渦輪分子泵 抽速 600L/s, 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF40
  3.  真空測量 電阻規+電離規
  4.  極限真空 1.0E-4Pa
  • 供電電壓:AC220V 50H 整機功率 2kw
  • 整機尺寸:550*350*500mm