產品詳情
  • 產品名稱:小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀

  • 產品型號:MSP180G-DC
  • 產品廠商:红杏成版人下载
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簡單介紹:
小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀是一款實驗室製備材料薄膜的理想設備,該小小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀配150W直流電源,可用於金屬濺射鍍膜。
詳情介紹:

小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀經過小型化設計,將設備外形限製在了桌麵級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,能夠用於濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點。


名稱
小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀
特點
  • 速度快溫升低
  • 可用於製備單層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等
  • 小型化設計,將設備外形限製在了桌麵級別
技術參數
  • 樣品台: 直徑100mm,可加熱 *高溫度500℃,可旋轉 0-20rpm 可調
  • 磁控靶槍: 2 英寸圓形平麵靶, 
  • 真空腔體: Φ180mm × H 215mm;高純石英; 觀察窗口 全向透明; 開啟方式 頂蓋拆卸式
  • 直流電源: 功率 *大150W ,數量 1
  • 真空係統 
  1.  機械泵 旋片泵 抽速 1.1L/S,
  2.  分子泵 渦輪分子泵 抽速 600L/s
  3.  真空測量 電阻規+電離規
  4.  極限真空 1.0E-4Pa
  5.  抽氣接口 KF16
    抽氣接口 KF40
    排氣接口 KF16
  • 供電電壓:AC220V 50H 整機功率 2kw
  • 整機尺寸:550*350*400mm