產品詳情
  • 產品名稱:UPS三靶磁控濺射真空鍍膜儀

  • 產品型號:TN-MSP325S-3RF-D
  • 產品廠商:红杏视频下载安装黄
  • 產品文檔:
你添加了1件商品 查看購物車
簡單介紹:
UPS三靶磁控濺射鍍膜儀體積小,操作簡便,是實驗室製備材料膜的理想鍍膜設備,UPS三靶磁控濺射鍍膜儀采用UPS16節電池,容量38AH。
詳情介紹:

TN-MSP325S-3RF-D UPS三靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發的高性價比的磁控濺射鍍膜設備。 它是標準化,模塊化和可定製的。該裝置可用於製備單層或多層鐵電薄膜,導電膜,合金膜,半導體膜,陶瓷膜,介電膜,光學膜,氧化物膜,硬膜,PTFE膜等。 與同類設備相比,這種三靶磁控濺射鍍膜機不僅用途廣泛,而且具有體積小,操作簡便的優點,是實驗室製備材料膜的理想設備。


名稱 

UPS三靶磁控濺射鍍膜儀

型號

TN-MSP325S-3RF-D

電源電壓 

交流220v,60Hz

UPS

20KVA 16KW,延遲1小時 

16節電池,容量38AH 

真空室

尺寸:直徑 325毫米*高385毫米 

材質:304不鏽鋼 

視口(窗口):約4英寸(100毫米),帶快門 

樣品台

頂部樣品架 

樣品表:直徑 150毫米 

樣本數量:*大 直徑4英寸 

轉速:0-40rpm可調 

加熱溫度:*高700C

水冷裝置

水流量:2.3m3 / h 

電源:3P 

製冷量:8250Kcal / h 

壓縮機輸出功率:2.25KW 

磁控濺射槍

3×2''磁控濺射槍,帶自動快門 

向上濺射方向 

目標直徑:2英寸 

磁鐵:稀土磁鐵 

質量流量計

3×MFC質量流量控製(Ar,O2和N2) 

測量範圍:*大20sccm 

帶氣動隔離閥和過濾器。 

通過PC或PLC全自動控製

儲存至少100個配方 

19''平板控製器 

 

射頻發生器3×RF 300W自動匹配電源 

功率輸出範圍

5W〜300W

MAX.大反射功率

100W

電源穩定性

±0.1%

諧波成分

≤-50dbc

電源

≤-50dbc

效率

≥70%

功率因數

≥90%

反射功率(*大功率

<3W

比賽時間

1〜3s

射頻輸出接口

50Ω,L29或定製

MAX.大負載

電流:30ARMS ,電壓:7500VRMS

匹配阻抗

實部範圍:0〜80Ω

虛部範圍:﹣200j〜﹢ 200j

冷卻方式

強製冷卻