產品詳情
  • 產品名稱:多弧離子鍍膜儀

  • 產品型號:TN-MIOP400S-2TA
  • 產品廠商:红杏网站污视频
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簡單介紹:
多弧離子鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時將蒸發物或反應物沉積在基片上。本多弧離子鍍膜儀配有兩個多弧靶,和行星式樣品台可有效的提高鍍膜效率。
詳情介紹:

多弧離子鍍膜儀 TN-MIOP400S-2TA:多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。本設備配有兩個多弧靶,分置於腔體兩側。配合行星式樣品台可有效的提高鍍膜效率,改善成效果。該鍍膜儀還采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的安全。


名稱
多弧離子鍍膜儀
型號
TN-MIOP400S-2TA
  • 離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用範圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等優點
  • 十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由於其通過控製氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結合牢固,故也可用於製作多種顏色的裝飾性膜。
術參
  • 樣品台 行星式樣品台,外徑305mm,四周六工位,工件可懸掛於各工位的支撐棒上,外周轉速1~20rpm可調
  • 多弧離子靶:φ84mm X 2 
  • 真空腔體: 304不鏽鋼φ300mm X 400mm, 觀察窗口前置φ100mm含遮光片開門式
  • 膜厚控製 晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控製儀
  • 真空係統
  1.    前級泵 雙極旋片泵 抽氣接口 KF16; 次級泵 渦輪分子泵 抽氣接口 CF160
  2.    真空測量電阻+電離複合真空規
  3.    排氣速率: 機械泵1.1L/s, 分子泵 600L/s, 旋片泵:1.1L/S 
  4.    極限真空: 1.0E-5Pa
  5.    供電電源: AC 220V 50/60Hz
  • 控製係統 自動控製:觸控屏+操作麵板
規格
電壓 AC380V,50Hz ;尺寸 1000mm X 800mm X 1500mm;功率 5kW 整機重量 350kg