產品詳情
  • 產品名稱:高真空蒸發濺射二合一鍍膜儀

  • 產品型號:TN-EVS180S-HV
  • 產品廠商:其它品牌
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簡單介紹:
高真空蒸發濺射二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,可用於等離子濺射方式鍍金屬膜,也可用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。該高真空蒸發濺射二合一鍍膜儀高度集成化,在同一個腔體內即實現了兩種鍍膜功能。
詳情介紹:

真空蒸發等離子濺射二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,不但可以用於等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個腔體內即實現了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用304不鏽鋼腔體作真空腔體,鍍膜過程完全可見。儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-3Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa,可滿足大多數蒸發鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環境。本儀器體積小,節省空間,能夠置於試驗台上使用,一機多用,性價比突出,非常適合各大高校及研究機構選用。

名稱

高真空蒸發等離子濺射二合一鍍膜

型號

TN-EVS180S-HV

掃描電鏡樣品表麵噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的製作等。

技術參數

電電壓 AC220V,60Hz

max大功率 1200W

樣品台 直徑φ65mm;

與蒸發源間距可調,調節範圍60mm-100mm

真空腔體 材質:304不鏽鋼 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm

max高溫度 1700℃

熱電偶 B型熱電偶

真空計 電子式真空計

真空係統 前級泵:浦發MVP030 無油泵   抽速30L/min

次級泵:萊寶TURBOVAC 90iX   抽速90L/s

真空接口 KF40

進氣接口 1/4卡套接頭

規格

整機尺寸 500x350x400mm