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  • 產品名稱:卷對卷式PECVD

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簡單介紹:
卷對卷式PECVD是等離子增強型化學氣相沉積設備,該卷對卷式PECVD適合用於石墨烯在卷材上的連續生長
詳情介紹:

卷對卷式PECVD是等離子增強型化學氣相沉積設備(PECVD),並加裝了收放卷裝置。本設備可用於線材的連續化熱處理工藝中,如碳纖維製備、合金及其他材料線材改性處理等應用中。也適合用於石墨烯在卷材上的連續生長。

設備含卷對卷收放卷運動模塊、1200℃雙溫區可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強模塊、真空係統以及三路質子流量計供氣係統五部分,整套體係可在真空/氣氛保護環境下工作。收放卷機構轉速從1~400mm/min可調,機構采用反饋調節,可自動糾正轉速偏差,保證樣品的速度穩定不走樣,從而保證了實驗的準確性

 

卷對卷式PECVD技術參數:

1200℃雙溫區管式爐

供電電壓

AC220V,50Hz

*大功率

3KW

加熱溫區

雙溫區 200mm+200mm

工作溫度

≤1200℃

控溫精度

±1℃

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

爐管材質

高純石英

爐管尺寸

φ80mm I.D x 1400mm L

密封方式

不鏽鋼真空法蘭

真空測量

電阻規

工作氣體

氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體

真空泵

雙極旋片式真空泵

極限真空度

10^-1Pa

三路質量流量計

閥門類型

不鏽鋼針閥

氣路數量

三路

承壓範圍

0.05~0.3MPa

量程

1~100 SCCM(Ar)

1~200 SCCM(H2

1~500 SCCM (CH4)

流量控製範圍

±1.5%

混氣罐容積

750mL

氣路材料

304不鏽鋼

管道接口

6.35mm卡套接頭

供電電源

AC220V 50Hz

S射頻電源

輸出功率

500W

輸出精度

±1%

射頻頻率

13.56MHz

射頻穩定度

±0.005%

冷卻方式

風冷