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  • 產品名稱:​單溫區旋轉PECVD石墨烯製備

  • 產品型號:
  • 產品廠商:其它品牌
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簡單介紹:
​單溫區旋轉PECVD石墨烯製備廣泛用於石墨烯製備,顆粒包覆等科學實驗上,該單溫區旋轉PECVD石墨烯製備適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控製工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合。
詳情介紹:

單溫區旋轉PECVD石墨烯製備

安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺杆進料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調節轉速來更改。可實現在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。

設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表麵,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用於石墨烯製備,顆粒包覆等科學實驗上。

本設備特別適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控製工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。


技術參數:

射頻電源

 

輸出功率

150W

輸出精度

±1%

射頻頻率

13.56MHz

射頻穩定度

±0.005%

冷卻方式

風冷

1200℃雙溫區管式爐

供電電壓

AC220V,50Hz

*大功率

2KW

加熱溫區

單個溫區200mm

工作溫度

*高1200℃,連續運行溫度應≤1100℃

控溫精度

±1℃

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

三溫區獨立控製,帶有過熱和斷偶保護

爐管材質

高純石英

爐管尺寸

φ50x800mm

密封方式

真空不鏽鋼法蘭、KF16法蘭

可調轉速

0-20rpm

傾斜角度

0-15°

真空泵

旋片機械泵

極限真空度

1.0E-1Pa

進料方式

真空漏鬥加螺杆進料