產品詳情
  • 產品名稱:等離子濺射熱蒸發二合一鍍膜儀

  • 產品型號:TN-EVS180G-LV
  • 產品廠商:红杏视频下载安装黄
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簡單介紹:
等離子濺射熱蒸發二合一鍍膜儀不但可用等離子濺射方式鍍金屬膜,也可用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。該等離子濺射熱蒸發二合一鍍膜儀體積小巧,一機多用,性價比突出,非常適合各大高校及研究機構。
詳情介紹:

TN-EVS180G-LV 等離子濺射熱蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,不但可以用於等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高集成化,在同一個腔體內即實現了兩種鍍膜功能;該小型二合一鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過程完全可見。儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-1Pa的真空度,可滿足大多數蒸發鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環境。本小型二合一鍍膜儀體積小能夠置於試驗台上使用,一機多用性價比突出,非常適合各大高校及研究機構選用。


產品名稱
等離子濺射熱蒸發二合一鍍膜儀
產品型號
TN-EVS180G-LV
主要特點

  • 等離子濺射和蒸發二合一,一機多用,性價比突出
  • 高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過程完全可見
  • 采用高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過程完全可見。
  • 儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-1Pa的真空度
技術參數
  • 樣品台:直徑80mm, 至蒸發源距離 20mm~50mm 可調
  • 濺射頭:直流、尺寸:2inch *1
  • 濺射電源:直流電源 150W max.
  • 蒸發係統:鎢絲藍、 max1700℃、S型熱電偶
  • 真空腔體:直徑180mm*150mm、高純石英、頂蓋拆卸式 全向透明
  • 真空係統:機械泵(旋片泵:1.1 L/S)、極限真空:1.0E-1Pa、電阻規測量、KF16 抽氣排氣接口供電電源:AC;220V 50/60Hz
產品規格
尺寸:360mm*300mm*470mm、 重量:約20kg、功率1.5KW