產品詳情
  • 產品名稱:1200℃單溫區3路質量供氣低真空CVD係統

  • 產品型號:TN-O1200-50IT-3Z-LV
  • 產品廠商:红杏视频免费破解版
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簡單介紹:
1200℃單溫區3路質量供氣低真空CVD係統由單溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。該1200℃單溫區3路質量供氣低真空CVD係統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握。
詳情介紹:

TN-O1200-50IT-3Z-LV 1200℃單溫區3路質量供氣低真空CVD係統由單溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控製路管內的氣氛環境。同時1200℃單溫區3路質量供氣低真空CVD係統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。1200單溫區3路供氣低真空CVD係統所配有的三路質量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作麵板采用數字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯係技術人員定製任意數量的氣路。

應用範圍:高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。


名稱 1200℃單溫區3路質量供氣低真空CVD係統
型號 TN-O1200-50IT-3Z-LV
參數
  1. 1、供電電源:AC:220V 50/60Hz
  2. 2、爐管  材質:高純石英; 尺寸:直徑50mm(可選配60mm80mm100mm)、長度800mm(爐膛長度:440mm)
  3. 3、加熱區:長400mm;  恒溫區:長200mm
  4. 4、工作溫度:0~1100℃; 控溫精度:±1℃; 
  5. 5、控溫模式:30段或50段程序控溫
  6. 6、顯示模式:LCD
  7. 7、密封方式 :304不鏽鋼真空法蘭 ;法蘭接口:1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
  8. 8、可抽真空:4.4E-3Pa
  1. 9、供氣係統:TN-3Z  3通道氣體通道
         測量部件:氣體質量流量計
         測量量程:A通道:0~100SCCM    H2氣
                         B通道:0~300SCCM    N2氣
                         C通道:0~500SCCM    Ar氣
     備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需特別注明。根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計
        測量精度:±1.0%F.S
        管道耐壓:3MPa
        工作壓差:50~300KPa
        連接管道:304不鏽鋼
        控製閥門:304不鏽鋼針閥
        接口規格:進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
        供電電源:AC:220V 50/60Hz

  2. 10、排氣係統:旋片泵 
         抽氣速率: 旋片泵:1.1L/S
         抽氣/排氣接口:KF16
         真空測量複合真空計:電阻規
         極限真空:1.0E-1Pa
         供電電源:AC220V 50/60Hz

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