產品詳情
  • 產品名稱:單靶等離子濺射鍍膜儀(標準版)

  • 產品型號:TN-PSP180G-1TA-RS
  • 產品廠商:红杏成版人app
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簡單介紹:
單靶等離子濺射鍍膜儀(標準版)配有旋轉樣品台,能夠有效的提升鍍膜的均勻性​。該單靶等離子濺射鍍膜儀(標準版)可用於金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜
詳情介紹:

TN-PSP180G-1TA-RS 小型單靶等離子濺射鍍膜儀(標準版-旋轉樣品台)是我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備,具有結構緊湊,簡單易用,集成度高,旋轉樣品台提高鍍膜均勻性。等離子濺射靶為2英寸的標準尺寸,客戶可以根據需要選擇1~3個靶的不同配置,以滿足鍍單層膜或者多種材料多層膜的不同實驗需求。儀器所配電源為150W直流高壓電源,可用於金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜。


產品名稱
小型單靶等離子濺射鍍膜儀(標準版-旋轉樣品台)
產品型號
TN-PSP180G-1TA-RS
主要特點
  • 自主研發、高性價比
  • 具有結構緊湊,簡單操作
  • 旋轉樣品台,鍍膜更均勻
  • 150W直流高壓電源,金屬濺射鍍膜
技術參數
  1. 1、旋轉樣品台:尺寸φ100mm;轉速:1-20rpm可調
  2. 2、直流濺射頭:數量2” ×1  
  3. 3、真空腔體:尺寸:φ180mm × 210mm、材料高純石英、全向透明、頂蓋拆卸式
  4. 4、真空係統:雙極旋片真空泵抽氣速率:旋片泵:1.1L/S;極限真空:≥0.1Pa
        抽氣/排氣接口:KF16; 真空測量:電阻規;
  5. 5、濺射電源配置:直流電源 ×1;max輸出功率:150W,濺射電壓1200V,*大濺射電流50mA
產品規格
尺寸500mm × 320mm × 470mm;重量30kg ;供電電壓:AC220V,50Hz;功率1500W

1. 鍍膜儀配有通氣接口,可通入保護性氣體,若客戶需通入混合氣體,可聯係工作人員自行配置高精度質量流量計以滿足實驗需要。

2.本鍍膜儀標配為雙極旋片真空泵,其具有體積小,抽真空快,操作簡單的優勢,若客戶有進一步提升真空度的需要,可以聯係技術人員選配分子泵組組成高真空係統。


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