產品詳情
  • 產品名稱:三溫區三通道CVD混洗係統

  • 產品型號:TN-OTF-1200X-80-3F
  • 產品廠商:红杏成版人下载
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簡單介紹:
TN-OTF-1200X-80-3F是一款CE認證的三溫區管式爐CVD係統,其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣係統組成,其真空度可達到 10-2 torr。
詳情介紹:

○ 產品介紹

TN-OTF-1200X-80-3F是一款CE認證的三溫區管式爐CVD係統,其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣係統組成,其真空度可達到 10-2 torr。


○ 產品特點

雙層殼體結構並帶有風冷,使得殼體的表麵溫度小於60

保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環保節能

內爐膛表麵塗有高溫氧化鋁塗層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

可開啟式,更換爐管方便


○ 技術參數

殼體結構

雙層殼體結構並帶有風冷,使得殼體的表麵溫度小於60

保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環保節能

內爐膛表麵塗有高溫氧化鋁塗層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

可開啟式,更換爐管方便

功率

 5 KW

電壓

 AC 208-240V單相, 50/60 Hz

加熱元件

 Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

*高工作溫度

1200℃

連續工作溫度

1100℃

*大加熱速率

≤20  ℃/min

石英管&

密封法蘭

80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內

儀器上已經安裝有不鏽鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門

加熱區長度

三個溫區長度: (880mm, 35" in total)

溫區 1: 220mm  (8.6" )  

溫區 2: 440mm  (17.3")

溫區 3: 220 mm (8.6") 

注:由於測量手段及外部環境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。 

溫控係統

三個精密溫度控製器,可獨立控溫

PID控製方式,通過PWM固體繼電器。

30段可編程智能溫度調節儀,並可設置30段升降溫程序.

帶有過熱和斷偶保護功能

控溫精度

 +/- 1℃

真空密封係統

 

兩個不鏽鋼密封法蘭

通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵,真空度可以達到10-4 torr.

漏氣率 < 5 m-torr / min 

真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油汙過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的*小微粒直徑為0.3微米  

數字式真空顯示計

可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量範圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要係數轉換

氣體流量計和壓力表

 

三個浮子流量計,能夠檢測到氣體的流          

三路浮子量程分別為

10-100 cc/min.

16-160 cc/min.

25-250 cc/min

內部安裝有一混氣罐

有一壓力表安裝在浮子流量供氣係統側麵上,可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力

閥門

 四個不鏽鋼閥門安裝在浮子流量供氣係統側麵上,用於控製氣體的流量

外形尺寸

爐子: 1100 X 450 x 670mm

底部移動架: 600x600x597mm

開門斷電

 為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計    

淨重

 約 90 Kg

運輸重量

 245 lbs

質保期

一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

質量認證

CE certified

使用注意事項

爐管內氣壓不可高於0.02MPa

由於氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加**安全

當爐體溫度高於1000℃時,爐管內不可處於真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

進入爐管的氣體流量需小於200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的衝擊

石英管的長時間使用溫度<1100℃

對於樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大於0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


○ 免責聲明

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