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○ 產品介紹
TN-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強型CVD係統。此係統由150W射頻電源、單溫區管式爐、3通道質子流量計控製係統、性能優異的真空泵組成。
○ 技術參數
結構特點 |
• 150W射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度 • 3通道質子流量計控製係統可以對氣體的輸送進行精準的調控 |
工作電源 |
• AC208-220V,50/60Hz • 總功率:4KW |
單溫區管式爐 |
• 較高溫度:1100ºC(< 2h) 連續工作溫度:1000℃ • PID溫度控製器以及30段可編程溫控係統 • 輸入功率:220V,單相,功率:1.5KW • 加熱區長度:200mm,恒溫區:100mm • 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管 |
等離子射頻電源 |
• 輸出功率:0-150W可調(穩定性:±1%) • 射頻頻率:13.56MHz(穩定性:±0.005%) • 較大反射功率:150W • 匹配:自動匹配 • 射頻輸出端口:50Ω、N型 • 噪音:<50dB • 冷卻: 空氣冷卻 • 電源: 220VAC, 50/60Hz |
石英管 |
• 高純石英管 • 尺寸:φ50mm*1200mm L |
密封法蘭 |
• 一對不鏽鋼快接法蘭(法蘭上安裝有KF25真空接頭) |
真空泵(該部分為選配,單獨計費) |
• 雙級真空泵 • KF16卡箍及波紋管用於連接管式爐與真空泵 |
3通道質子流量計控製係統(該部分為選配,單獨計費) |
• 4通道質子流量計控製係統可實現氣體流量的精準控製(精準度:±0.02%) • 流量範圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 0~200 SCCM 三路: 1~200 SCCM • 電壓:220V AC 50/60Hz • 氣體進出口配件:直徑6.35mm不鏽鋼管 • 不鏽鋼針閥用於手動控製氣體進出 |
尺寸和重量 |
• 1400mm L x 600mm W x 1240mm H • 淨重:90kg |
質保期 |
• 一年質保期,終生維護(石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外) |
質量認證 |
• CE認證 |
使用注意事項 |
• 爐管內氣壓不可高於0.02MPa • 由於氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥 • 當爐體溫度高於1000℃時,爐管內不可處於真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 • 進入爐管的氣體流量需小於200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的衝擊 • 石英管的長時間使用溫度<1100℃ • 對於樣品加熱的實驗,使用時不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大於0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生。 |
○ 免責聲明
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