產品詳情
  • 產品名稱:PECVD石墨烯薄膜製備係統

  • 產品型號:
  • 產品廠商:红杏视频下载安装黄
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簡單介紹:
PECVD石墨烯薄膜製備係統借助13.56MHz的射頻輸出等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內形成等離子體,利用等離子體的強化學活性,改善反應條件,使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。PECVD石墨烯薄膜製備係統設備可以用於:石墨烯製備、硫化物製備、納米材料製備等多種實驗場所。
詳情介紹:

○ 產品介紹

PECVD石墨烯薄膜製備係統借助13.56MHz的射頻輸出等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內形成等離子體,利用等離子體的強化學活性,改善反應條件,使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。PECVD石墨烯薄膜製備係統設備可以用於:石墨烯製備、硫化物製備、納米材料製備等多種實驗場所。


○ 適用範圍

PECVD石墨烯薄膜製備係統設備可以用於:石墨烯製備、硫化物製備、納米材料製備等多種實驗場所。


○ 技術參數

多溫區加熱係統 

序號 

功能名稱 

技術要求 

01 

工作溫度 

室溫~1200℃,長期工作溫度≦1100℃ 

02 

加熱區長度 

三溫區加熱,各溫區可獨立控溫,恒溫區長度為550 

03 

控製模式 

30段智能PID 多段程序控溫 

04 

控溫精度 

±1℃ 

05 

升溫速率 

0~20℃/min 

06 

測溫元件 

3支K型熱電偶 

07 

溫控保護 

具有超溫和斷偶保護功能 

08 

爐管 

高純石英管,能耐長期1100℃工作溫度 

09 

爐管尺寸 

石英管外徑100mm 

10 

爐膛結構 

開啟式 

11 

爐膛材料 

進口纖維,保溫性能好,反射率高,溫場均勻 

12 

密封方式 

真空不鏽鋼水冷法蘭 

13 

閥門 

KF25擋板閥 

14 

電源 

380V/220V  50Hz 

15 

溫度記錄 

可以實現溫度曲線記錄 

16 

爐殼溫度 

≦45℃ 

單溫區加熱係統 

序號 

功能名稱 

技術要求 

01 

工作溫度 

室溫~1200℃,長期工作溫度≦1100℃ 

02 

加熱區長度 

單溫區加熱,恒溫區長度為200mm 

03 

控製模式 

30段智能PID 多段程序控溫 

04 

控溫精度 

±1℃ 

05 

升溫速率 

0~20℃/min 

06 

測溫元件 

K型熱電偶 

07 

溫控保護 

具有超溫和斷偶保護功能 

08 

爐管 

高純石英管,能耐長期1100℃工作溫度 

09 

爐管尺寸 

石英管外徑100mm 

10 

爐膛結構 

開啟式 

11 

爐膛材料 

進口纖維,保溫性能好,反射率高,溫場均勻 

12 

密封方式 

真空不鏽鋼水冷法蘭 

13 

閥門 

KF25擋板閥 

14 

電源 

380V/220V  50Hz 

15 

溫度記錄 

可實現溫度曲線記錄 

16 

爐殼溫度 

≦45℃ 

RF輸出係統 

序號 

功能名稱 

技術要求 

01 

功率範圍 

0~500W連續可調 

02 

工作頻率 

13.56MHz+0.005% 

03 

工作模式 

連續輸出 

04 

顯示模式 

LCD 

05 

匹配阻抗範圍 

能夠匹配,起輝輝光均勻布滿三溫區爐管 

06 

功率穩定度 

≦2W 

07 

正常工作反射功率 

≦3W 

08 

較大反射功率 

≦70W 

09 

諧波分量 

≦-50dBc 

10 

整機效率 

≥70% 

11 

功率因素 

≥90% 

12 

供電電壓/頻率 

單相交流(187V~253V) 頻率50/60HZ 

13 

控製模式 

內控/PLC 模擬量/RS232/485 通訊 

14 

電源保護設置 

DC 過流保護,功放過溫保護,反射功率保護 

15 

冷卻方式 

強製風冷 

16 

起輝長度 

在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光需能布滿整個三溫區的爐體長度 

氣體流量控製 

序號 

功能名稱 

技術要求 

01 

四路質子流量計 

北京七星華創,質子流量計 

02 

流量範圍 

MFC1量程:0~200sccm  MFC2量程:0~200sccm 

MFC3量程:0~500sccm  MFC4量程:0~500sccm 

分別對應氣體 H2、CH4、N2、Ar 

03 

測量精度 

±1.5%F.S. 

04 

重複精度 

±0.2% FS 

05 

線性精度 

±1%F.S. 

06 

響應時間 

≤4sec 

07 

工作壓力 

-0.15MPa0.15MPa 

08 

流量控製 

液晶觸摸屏控製,數字顯示,每路氣體含有針閥單獨控製 

09 

進氣接口 

可接1/4NPS或者外徑6mm不鏽鋼管 

10 

出氣接口 

可接1/4NPS或外徑6mm不鏽鋼管 

11 

連接方式 

雙卡套接頭 

12 

工作溫度 

5~45℃ 

13 

氣體預混 

配氣體預混裝置 

真空要求 

序號 

功能名稱 

技術要求 

01 

真空泵 

配置進口或國產真空泵,爐管背景真空達5×10-1 Pa 

02 

係統漏率 

≤1.4×10-3 Pa.L/s 

03 

真空測量 

Inficon防腐蝕超純陶瓷傳感器 

04 

真空測量範圍 

0.01Pa1000Pa,測量精度0.2% 

05 

真空壓力表 

配置一個通用真空壓力表用於係統真空粗測 

06 

連接管道 

不鏽鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭與真空泵連接 

軌道功能 

序號 

功能名稱 

技術要求 

01 

滑軌長度 

2.5米~3米,能實現三溫區爐子一個爐位長度的滑動,實現快速升降溫 

02 

主要參數 

手動滑動,可實現管式爐和等離子體發生器的滑動控製,達到快速降溫,射頻放射調節 

03 

特殊定製 

軌道上安裝方便拆卸的法蘭支架,用以支撐爐管長度改變時的端口法蘭;單溫區爐子可以拆裝至滑軌上與等離子體源配合使用;等離子體發生器可以拆卸


○ 滑軌需要滿足的要求

1)常用方式是:等離子體發生器+三溫區爐配合,其中導軌可以讓三溫區爐有一個爐位的滑動;

2)希望的搭配使用方式1是:等離子體發生器+單溫區管式爐;

3)希望的搭配使用方式2是:單溫區管式爐+等離子體發生器+三溫區爐(此時三溫區爐不需要滑動快速升降溫)

需要做到單溫區爐體能夠比較方便地裝到(1)方式的滑軌上,並且石英管兩端的法蘭支架可以在導軌長度內調節,能滿足不同爐管長度條件下對法蘭的支撐。



○ 免責聲明

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