產品詳情
  • 產品名稱:三溫區CVD氣相沉積係統

  • 產品型號:
  • 產品廠商:红杏网站污视频
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簡單介紹:
該三溫區CVD氣相沉積係統主要用於真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煆燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗
詳情介紹:

○ 產品介紹

該三溫區CVD氣相沉積係統主要用於真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煆燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。


○ 適用範圍

主要用於真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煆燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。


○ 產品特點

1、造型優美 做工精細;
2、測溫精準 控溫穩定;
3、超高溫加熱元件 工作溫度可高達1650℃;
4、產品豐富 有多種型號供您選擇。


○ 技術參數

加熱溫度

三溫區 獨立控溫

密封方式

水冷式真空法蘭

溫區長度

L:190mm;M:250mm;R:190mm;

真空係統

防返油式雙極旋片泵

工作溫度

L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃;

係統真空

5~10Pa(如需更高真空度可選配其它泵)

加熱爐管

高純剛玉外徑60mm,長度1300mm

製冷方式

9L水冷機

氣體通道

三通道質量流量計

控溫係統

多段可編程智能控溫,控溫精度±1℃

氣體量程

A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM

供電電源

AC:220V 50Hz

真空檢測

進口數字真空計 

備   注

如有其它要求 可按要求定製


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