產品詳情
  • 產品名稱:單靶等離子濺射儀(基礎版)

  • 產品型號:TN-PSP180G-1TA
  • 產品廠商:红杏成版人下载
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簡單介紹:
單靶等離子濺射儀(基礎型)采用二極濺射方式,廣泛用於場發射掃描電鏡或透射電鏡樣品製備或高質量鍍膜試驗。該單靶等離子濺射儀(基礎型)是基於PLC的強大控製係統,全部觸摸屏操作,可手動、半自動控製、全自動控製。
詳情介紹:

○ 產品介紹:

TN-PSP180G-1TA 本型號小型等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用於SEM樣品製備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控製係統,全部觸摸屏操作,體積小巧造型美觀,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇

主要功能:

1、精細、超精細離子濺射導電膜製備;專業級金屬膜層試驗。

2、樣品等離子刻蝕清洗

主要參數:

樣品台 尺寸 100mm

到靶麵距離 20-35mm 可調
等離子濺射靶 數量 2英寸*1

冷卻方式 自然冷卻
真空腔體 腔體尺寸 φ180*210mm

觀察窗口 全向可視

腔體材料 高純石英

開啟方式 頂蓋拆卸式

上下蓋材料 304不鏽鋼

抽氣接口 KF16

進氣接口 1/4英寸卡套接頭
電源配置 數量 直流電源*1

輸出功率 *大150W

濺射電壓 1200V

*大濺射電流 50mA
真空係統 真空泵類型 雙極旋片真空泵

抽氣接口 KF16

抽氣速率 1.1L/s(4m³/h)

極限真空度 ≥0.1Pa

真空測量 電阻真空規
其他 供電電源 AC220V 50Hz

整機功率 1.5kW

整機尺寸 500mm*320*470mm

整機重量 30kg

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